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新聞動態

  1. 無油干式渦旋真空泵的檢查與維護

    1.無油渦旋真空泵為防止碎屑在泵中沉積,每天抽大氣幾次,每次3~5秒。 2.要注意高溫,在泵足夠冷卻后,再進行檢查與維護。停泵后立即維修可能引起...

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  2. 半導體工藝中應用干式真空泵的幾種選擇類型

    1、前言 在過去的十多年里,有好幾種不同類型的干式真空泵被設計生產出來,它們在機械結構設計上有明顯差異,因此可以將干式真空泵歸納為以下幾種類...

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  3. 真空系統的簡單介紹及部分名詞

    真空系統其實就是真空機組的一個類似的稱呼,真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環真空設備,它不見得有一些諸如散熱器,冷凝器等等設備存在。而一般能稱...

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